首條8英寸“超越摩爾”試線通線成功
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首條8英寸“超越摩爾”試線通線成功
中國，上海嘉定——2017年12月1日，致力于“超越摩爾”產業(yè)發(fā)展的創(chuàng)新平臺上海微技術工業(yè)研究院（以下簡稱“工研院”）運營的8英寸“超越摩爾” 研發(fā)中試線首款傳感器產品近日獲得驗證通過，正式宣告研發(fā)中試線通線成功。
當前以智能傳感終端、大數據、云計算、人工智能等為代表的信息技術正加速創(chuàng)新，萬物互聯(lián)智能化時代正在到來。其中“超越摩爾”技術以傳感器為核心，結合射頻、功率、微能源等技術，是未來實現萬物互聯(lián)的基礎。作為創(chuàng)新型功能平臺，工研院立足國內集成電路研發(fā)和產業(yè)基地上海，8英寸研發(fā)中試線落戶嘉定，填補國內這一領域的空白。
研發(fā)中試線著重開展表面硅、體硅、3D微納加工工藝的開發(fā)，并根據“超越摩爾”產品和技術特點部署MEMS、硅光子、射頻、硅基III-V族、3D集成、MR磁、功率及生物等相關工藝和量測設備，提供全方位的產品研發(fā)、小批量生產、技術培訓、設備驗證等服務。
“這次的通線成功標志著中國在MEMS及先進傳感器的研發(fā)和產業(yè)化進入一個全新的快速發(fā)展的階段。未來研發(fā)中試線將持續(xù)發(fā)力，在新材料、新工藝、新器件、新系統(tǒng)重點技術領域開展研發(fā)，進一步推動“超越摩爾”產業(yè)鏈的完善和物聯(lián)網創(chuàng)新應用發(fā)展。”上海微技術工研院總裁楊瀟表示。
以全球領先的8英寸“超越摩爾”研發(fā)中試線為支點，工研院將持續(xù)打造集研發(fā)、工程、市場、孵化的一體化功能平臺，為創(chuàng)新企業(yè)及合作伙伴提供全方位的服務和解決方案，建設具有全球影響力的科技創(chuàng)新中心及“超越摩爾”產業(yè)群。
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一、傳感器技術實驗臺,傳感器實訓裝置,傳感器實訓臺主要結構
傳感器技術實驗臺,傳感器實訓裝置,傳感器實訓臺由主控臺、傳感器、實驗模塊、位移臺架、數據采集卡及處理軟件、實驗臺桌六部分組成。
主控臺部分：提供高穩(wěn)定的±5V、±15V、±2V～±10V（可調）、±2V～±24V（連續(xù)可調）、直流穩(wěn)壓電源；二組溫度電源。主控臺面板裝有空氣開關、電壓、頻率、轉速顯示表；溫度表，溫度控制儀微機電源。低頻信號系統(tǒng)源1Hz-30Hz（可調）；音頻信號源0.4KHz-10KHz；差動放大器，氣壓表、儲氣箱；RS232計算機串行接口。
二、傳感器技術實驗臺,傳感器實訓裝置,傳感器實訓臺技術參數
| 輸入電源 | AC220V 50Hz | 非線性誤差 | ≤ 5% |
| 直流電源 | ± 5V ± 15V | 測量精度 | ≤ 1% |
| 穩(wěn)壓系數 | ± 1% | 功 耗 | 100VA |
| 電壓紋波 | ≤ 10mV | 輸出電流 | 1A |
三、傳感器技術指標：
| 序號 | 實驗模塊 | 傳感器名稱 | 量 程 | 精 度 |
| 1 | 電阻霍爾式傳感器 | 電阻式傳感器 | ± 2mm | ±2% |
| 2 | 霍爾式傳感器 | ≥ 2mm | 0.1% | |
| 3 | 電容式傳感器 | 電容式傳感器 | ±3mm | ±2.5% |
| 4 | 電感式傳感器 | 電感式傳感器 | ± 3mm | ± 3% |
| 5 | 光電式傳感器 | 光電式傳感器 | 0-2500 轉/分 | |
| 6 | 渦流式傳感器 | 渦流式傳感器 | ≥ 3mm | |
| 7 | 溫度式傳感器 | 溫度式傳感器 | 0-80℃ | ± 2% |
| 8 | 磁電式傳感器 | 0.5V/m | ||
| 9 | 壓電式加速度傳感器 | 壓電式加速度傳感器 | 1-30Hz | |
| 10 | 光纖式傳感器 | 光纖式傳感器 | ≥ 1.5mm | |
| 11 | 壓力傳感器 | 壓力傳感器 | 0-30kpa | ± 2% |
| 12 | 超聲波傳感器 | 超聲波傳感器 | 20-60cm | 1cm |
三、傳感器技術實驗臺,傳感器實訓裝置,傳感器實訓臺實驗內容：
|
實驗一：電阻式傳感器的單臂性能實驗 實驗三：電阻式傳感器的全橋性能實驗 ㊣實驗五：電阻式傳感器的震動實驗 實驗七：變面積式電容傳感器特性實驗 ㊣實驗九：電容傳感器的震動實驗 實驗十一：差動變壓器的特性實驗 ㊣實驗十三：差動變壓器的震動實驗 實驗十五：光電式傳感器的轉速測量實驗 實驗十七：接近式霍爾傳感器實驗 實驗十九：渦流傳感器的位移特性實驗 ㊣實驗二十一：渦流式傳感器的震動實驗 實驗二十三：溫度傳感器及溫度控制實驗（AD590） 實驗二十五：磁電式傳感器轉速測量實驗 實驗二十七：壓電加速度式傳感器的特性實驗 實驗二十九：光纖傳感器的振動實驗 實驗三十一：壓阻式轉壓力傳感器的特性實驗 實驗三十三：超聲波傳感器的位移特性實驗 |
實驗二：電阻式傳感器的半橋性能實驗 實驗四：單臂、半橋、全橋性能實驗 ㊣實驗六：電阻式傳感器的電子秤實驗 實驗八：差動式電容傳感器特性實驗 ㊣實驗十：電容傳感器的電子秤實驗 實驗十二：自感式差動變壓器的特性實驗 ㊣實驗十四：差動變壓器的電子秤實驗 實驗十六：光電式傳感器的旋轉方向測量實驗 實驗十八：霍爾傳感器的轉速測量實驗 實驗二十：被測體材質對渦流傳感器特性的影響實驗 實驗二十二：渦流式傳感器的轉速測量實驗 實驗二十四：磁電式傳感器的特性實驗 ㊣實驗二十六：磁電式傳感器的應用實驗 實驗二十八：光纖傳感器的位移特性實驗 實驗三十：光纖傳感器的轉速測量實驗 ㊣實驗三十二：壓阻式傳感器的差壓測量 ㊣實驗三十四：超聲波傳感器的應用實驗 |
備注：帶㊣ 號實驗為思考實驗
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